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      真空油:油擴散泵的常見故障及原因

      來源:    作者:    發布時間:2012-11-12 11:02    瀏覽量:299

       

      【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

      由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

      1) 極限真空變低
          原因: a.系統中有滲漏;
                 b.系統太臟;
                 c.泵油污染;
                 d.加熱功率不夠;
                 e.冷卻水不足;
                 f.過量或過冷的冷卻水;
                 g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
                 h.快冷管內有水。

      2) 抽氣較慢
          原因: a.加熱功率低;
                 b.油量不足;
                 c.噴帽安裝位置不當或受損。

      3) 進口壓力波動
          原因: a.加熱器輸入功率不當;
                 b.油脫氣;
                 c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

      4) 工作腔污染大
          原因: a.前級壓力高;
                 b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
                 c.系統操作有誤。

      5) 返油率過大:
          原因: a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
                 b. 加熱功率不對

       

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